8 polegadas 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette Usado na Indústria de Tecnologia de Embalagem de Semicondutores

8 polegadas 25 Slot Visual Metal Wafer Cassette Usado na Indústria de Tecnologia de Embalagem de Semicondutores

Fabricadas a partir de ligas de alumínio, as cassetes de wafer de metal oferecem durabilidade incomparável para uso em salas limpas.

Características:

1Alumínio com revestimento resistente ao desgaste, liso e duro.

2. Resistente ao calor até 350°C (Al).

3- Entrada suave.

4Projeto de acordo com o padrão da indústria de semicondutores.

Aplicações:

1Em um ambiente de processo térmico, os wafers são processados numa cassete a temperaturas superiores a 43°C, limite superior do limiar estrutural típico para as cassetes de processo de plástico.

Isso inclui deposição química de vapor (CVD), processamento térmico rápido (RTP) e aplicações de recozimento de wafer.
Bakeout - Aplicações de cozimento térmico a longo prazo em que as wafers precisam ser deixadas no forno por vários dias.

2Equipamento de processo em que a temperatura de inserção da wafer (quando a wafer é retirada da ferramenta de processo) excede o ponto de fusão da caixa plástica.

A necessidade de maior rendimento reduz o tempo para que as wafers arrefeçam e se aclimatisem na câmara.

3. Ambientes Internos Cassetes - ambientes de automação de ferramentas em cluster em que as cassetes estão inativas num ambiente de vácuo aquecido (câmara) para várias etapas do processo.

4Requisitos de precisão do transportador - Os ambientes automatizados em calor moderado exigem uma precisão dimensional que os cassetes de plástico não podem fornecer.

Manuseio de wafer fina - Durante o manuseio de wafer fina, wafers finas afiadas são cortadas na caixa de plástico.Wafer grosso - Aplicações de ligação ou de wafer grosso em que não se podem utilizar cassetes de plástico padrão do setor devido ao tamanho da ranhura.

A personalização está disponível mediante pedido.

Disponível em configurações personalizadas (podem ser aplicáveis quantidades mínimas de encomenda): revestimento por níquel EN sem eletrolitros em perfis de alumínio para aplicações a alto vácuo;Slantes de perfil plano para wafers finos ou grossos- Manos de retenção de parede final; e configurações de duas barras h para processamento de wafer traseiro.

Parâmetros técnicos:

1. Caixa de alumínio de processo: (Al, HC) 8 - 25 slot, slot inclinado (padrão).
2. Tamanhos: selecione o tamanho da tampa (em cima), tampa (em baixo), H-BAR personalizado (em baixo), H-BAR (em cima).
3Alumínio, resistente à abrasão, revestimento liso e duro.
4. ranhuras suaves e formas parafusos de ventilação de vácuo.
5Projetado para os padrões SEMI.

Embalagem e transporte:

1Limitações de peso
O peso total de uma única embalagem não deve exceder 25 kg.
É conveniente para carregamento e descarregamento, satisfazendo a capacidade de carga de diferentes meios de transporte.
 

2Especificação do tamanho
O tamanho da caixa deve ser inferior a 1,5 metros cúbicos.
Cartão de plástico, tambores de aço e outras dimensões de acordo com o tamanho real das mercadorias a determinar.
Assegurar que a embalagem possa ser carregada sem problemas no contentor, na cabine de carga da aeronave, etc.
 

3Gestão da documentação
Prepare um conhecimento de embarque, fatura, lista de embalagens e outros documentos necessários.
As informações documentais devem ser completas e precisas, em conformidade com as mercadorias.